SF6氣體抽真空裝置
真空泵速率（L/s）：15
極限真空（pa）：≤6*10-2
抽真空時間（s）：（2）30L，（4）60L，（12）180L，（20）300L，（40）600L，（80）1200L
外型：90cm×65cm×100cm（長×寬×高）
重量：250Kg 左右
工作電壓：380~460V 50Hz交流電
噪音水平：<78dB(A)

SF6氣體抽真空裝置主要元件

1.真空泵* 額定速率54m3/h，真空度<0.06pa 1
2.管道 長度5m/3m 1
3.球閥.電磁閥 DDC真空電磁閥 2
4.真空表 麥氏真空計 1
5.連接插件 可選配各種類型的電器設備接口 1

SF6氣體有許多優點，絕緣性能特別方面更勝一籌。SF6氣體長期高電壓運行將會分解有毒有害產物，不但會降低SF6的電氣性能，直接向大氣排放將對人身健康構成危脅，部分分解產物極少量就可致人死亡。但是SF6系例的電力設備對加工工藝.材料要求很高，產品價格高；防止SF6氣體漏氣要求高，還需一系列輔助補氣措施；也不能完全排除爆炸的可能；經電弧燃燒后的低氯化合物生成物具有劇毒，威脅人身安全，也易造成環境污染。
   
例如：SF6氣體在電弧中的分解和與氧的反應：

    2SF6  +  O2  →2SOF2  +  8F（氟化亞硫酰）
    2SF6  +  O2  →2SOF4  +  4F（四氟化硫酰）
    SF6  →SF4  +  2F（四氟化硫酰）
    SF6  →S  +  6F（硫）
    2SOF4  +  O2  →2SO2F2  +  4F（氟化硫酰）
    電氣設備內的SF6氣體分解物與其內的水分發生化學反應而生成某些有毒產物
   
例如：SF6氣體分解物與水的繼發性反應：

    SF4  +  H2O  →SOF2  +  2HF（氫氟酸）
    SOF4  +  H2O  →SO2F2  +  2HF（氫氟酸）
    SOF2  +  H2O　→  SO2  +  2HF（二氧化硫）
    SO2F2  +  2H2O　→  H2SO4  +  2HF（硫酸
    電氣設備內的SF6氣體及分解物與電極（Cu－W合金）及金屬材料（AL.Cu）反應而生成某些有毒產物
   
例如：SF6氣體及分解物與電極或其它材料反應：

    3SF6  +  W　→  WF6（氣態）+  3SF4
    3F  +  AL  →ALF3（固態粉末）
    3SOF2  +  AL2O3  →2ALF3（固態粉末）+  3SO2
    SF6  +  Cu  →CuF2(固態粉末)  +  SF6
    4SF6  +  W  +  Cu  →2S2F2（氣態）+3WF6（氣態）+  CuF2（固態粉末）

電氣設備內的SF6氣體及分解物與絕緣材料反應而生成某些有毒產物。
如與含有硅成分的環氧酚醛玻璃絲布板（棒.管）等絕緣件；或以石英砂.玻璃作填料的環氧樹脂澆注件.模壓件以及瓷瓶.硅橡膠.硅脂等起化學作用，生成SiF4.Si（CH3）2F2等產物
       隨著新技術的推廣和新設備.新材料的應用，SF6設備以其安全可靠.維護方便和使用壽命長等優勢，在電力系統中得到了廣泛使用．并對電力系統的安全.經濟.穩定運行起到了重要的作用。但是，使用的SF6設備由多個廠家生產，基本體結構和操作機構多種多樣，不同廠家.不同型號.不同電壓等級的SF6設備，使用的標準也有差別，制作工藝水平也參差不平，給安裝.運行.檢修人員對SF6設備的應用和維護帶來困難.從而影響施工和檢修質量．甚至滲漏氣導致故障的發生．給電力系統的安全運行帶來一定的影響。因此SF6設備中SF6氣體的管理應引起重視。

1  SF6氣體的運行維護

1.1 定期巡視檢測。值班員每天應對SF6電氣設備采用紅外線雙波檢漏儀檢進行檢測，若發現泄漏可以檢測出泄漏含量有沒有超標并應立即報告，及時處理。
1.2 巡視防爆膜。對裝有防爆膜的GIS設備，每天定時巡視，但不得在防爆膜附近停留。發現異常情況要立即報告。若防爆膜破損，要停電進行處理。防爆膜應用汽油或丙酮擦拭干凈。
1.3 定期檢校報警裝置。每年要對壓力整定值進行檢驗，檢查觸點及報警器是否完好，各導線連接有無松動等。
    
2  SF6氣體的水分測量處理

2.1 含水量的測量。用含水儀測量SF6氣體的含水量。一般每３個月測量１次，穩定后減為每年測量１次。發現含水量有明顯變化時，應進行復測并分析其原因。斷路器氣室運行中的SF6氣體含水量不得大于3X10－4。
2.2 含水量超標時的處理。經測量SF6氣體的含水量超過最大允許值時，可用SF6氣體處理車對SF6氣體進行干燥.過濾。對含水量較高的氣室應抽真空，用干燥的氮氣進行置換，并用吸附劑吸收水分