隨著電力行業的迅猛發展，電力行業基礎建設和設備的投入，尤其是SF6電器設備的不斷增加，對SF6電氣設備在安裝調試、檢修維護的要求越來越高，相關部門對SF6電器設備（尤其是GIS）施工及檢修過程中的抽真空和回充補氣提出更高的質量和時間要求。
六氟化硫氣體SF6抽真空裝置結構特征
具有回收、充放、凈化、抽真空、貯存、灌瓶等綜合性功能，系統比較完全。各功能的串聯或切換主要通過操作集中于面板一側的電控箱和球閥來完成。
回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。
在充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設備（或鋼瓶）和連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
凈化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。
系統中設置了三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只及壓縮機的出口二只，以有效去除SF6氣體所帶的油份。
